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臺(tái)碩檢測(cè)設(shè)備（蘇州）有限公司
聯(lián)系人：李經(jīng)理
手機(jī)號(hào)：186-1668-7110 18616687110
網(wǎng)址：http://www.taso1.com/
郵箱：[email protected]
地址：蘇州市吳中區(qū)橫涇街道天鵝蕩路2659號(hào)2號(hào)廠房
以精密氣浮主軸和高精度立柱導(dǎo)軌
為基準(zhǔn)，采用計(jì)算機(jī)測(cè)量系統(tǒng)的轉(zhuǎn)
臺(tái)式圓柱度儀
產(chǎn)品特點(diǎn)
Product features
1ASO
臺(tái)碩ili§測(cè)
®先進(jìn)的補(bǔ)償算法，對(duì)Z軸精度進(jìn)行補(bǔ)償
®可評(píng)定錐形柱體的輪廓度（小錐體）
© 氣浮運(yùn)動(dòng)軸系，精度保持長(zhǎng)久A級(jí)儀器光學(xué)尺配合精密工作臺(tái)，確保機(jī)臺(tái)精度在2.5+L/200nm以內(nèi)
® Z軸光柵計(jì)數(shù)
©關(guān)鍵件采用特殊去應(yīng)力合金材料及特殊的去應(yīng)力處理工藝，精度保持長(zhǎng)久
©業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的高精度采集控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)所有電路按軍品標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)、生產(chǎn)及驗(yàn)收，
能在-70°C?+70°C的溫度區(qū)間內(nèi)穩(wěn)定工作
©模塊化設(shè)計(jì)使用戶維護(hù)成本降至低
產(chǎn)品技術(shù)規(guī)格
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測(cè)量范圍 |
大直徑 |
<t)300mm |
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小內(nèi)徑 |
c|)3mm |
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大咼度 |
420mm （可定制） |
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主軸精度 |
徑向誤差 |
±(0.025+5H/10000)nm |
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軸向誤差 |
±(0.025+6X/10000)nm |
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工作臺(tái) |
臺(tái)面直徑 |
0180mm |
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回轉(zhuǎn)直徑 |
0320mm |
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承載重量 |
30Kg |
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調(diào)整范圍 |
調(diào)偏心±2mm ;調(diào)水平±1° |
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旋轉(zhuǎn)速度 |
0-12轉(zhuǎn)/分 |
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水平臂 |
水平移動(dòng)距離 |
160mm |
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移動(dòng)速度 |
自動(dòng)0.5~6mm/s,或手動(dòng)控制 |
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傳感器 |
量程 |
600pm （半徑差） |
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分辨率 |
0.005pm |
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測(cè)針形狀 |
寶石球測(cè)頭 |
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測(cè)力 |
l-12g |
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回轉(zhuǎn)軸線與Z軸導(dǎo)軌平行度 |
2|im/300mm,母線基準(zhǔn) |
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立柱直線度 |
0.5nm/100mm, 0.8|im/300mm |
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數(shù)據(jù)采集 |
進(jìn)口光柵7200點(diǎn)/周 |
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放大倍率 |
任意至大20萬(wàn)倍 |
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電源 |
AC 220V±10% 50Hz |
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氣源壓力 |
0.45?0.80Mpa （氣源質(zhì)量要求：常規(guī)） |
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