運用非接觸式測量技術的光學3D成像檢測儀，大多是基于光學方法（干涉顯微法、自動聚焦法、激光干涉法、光學顯微干涉法等），可對精密零部件的表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸實現微納級測量，在微納米結構檢測中有著重要意義。

1、自動聚焦法-影像測量儀
自動聚焦法是基于幾何光學的物象共軛關系，能使得場景目標在成像系統中準確清晰成像的某種自動調節過程，當照明光斑匯聚在被測面時，進一步調整檢測頭與表面的距離，直至光斑像尺寸最小而得到該被測位置的相對高度。

Novator系列復合式影像儀是一款能充分發揮光學電動變倍鏡頭高精度優勢的全自動影像測量儀。

·支持點激光輪廓掃描測量，進行高度方向上的輪廓測量；
·支持線激光3D掃描成像，可實現3D掃描成像和空間測量；
·支持頻閃照明和飛拍功能，可進行高速測量，提升測量效率；
·具有可獨立升降和可更換RGB光源，可適應更多復雜工件表面。



2、共焦激光掃描顯微法-共聚焦顯微鏡
激光共焦掃描顯微術是一項高分辨率三維光學成像技術。利用精密共焦空間濾波結構，通過物象共軛關系濾除焦點外的反射光，提高成像的可見度。共焦顯微鏡裝置是在被測對象焦平面的共軛面上放置兩個小孔，其中一個放在光源前面，另一個放在探測器前面。得到的圖像是來自一個焦平面的光通過針孔數碼相機聚焦拍攝，通過所累積的不同焦平面的圖像序列，使用軟件編譯完整的 3d 圖像。

VT6000共聚焦顯微鏡具有粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。基于激光共聚焦顯微測量技術，配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像，對細節的展現纖毫畢現；對大坡度的產品有更好的成像效果，能在滿足精度的情況下使使用場景更具兼容性。在材料生產領域中提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。

3、光學顯微干涉法-白光干涉儀
干涉顯微法是光學干涉法與顯微系統相結合的產物，通過在干涉儀上增加顯微放大視覺系統，提高了干涉圖的橫向分辨率，使之能夠完成微納結構的三維表面形貌測量。

SuperViewW1白光干涉儀是一個光學干涉顯微測量系統，基于白光干涉原理研制而成，采用擴展型的相移算法EPSI，集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優點，單一模式即可適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型。主要用于對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。


高精度儀器設備需求不斷推動著微納米技術向前發展，因此高精度的微納檢測技術也成為了必然需求。根據不同測量要求，每種高精度測量儀器都有其適用性，在選設備的時候要根據具體需求來選擇。