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全自動和半自動GC特氣柜 BSGS特氣柜 VMB特氣柜 TMA特氣柜 Scrubber尾氣處理柜 特氣分配柜 VDB特氣柜 VDP特氣柜

技術參數

可選
*紫外/紅外火焰探測器
*氣缸關閉裝置
*面板加熱裝置
*以太網通訊模塊
*CGA Guarder 保護裝置
*過流開關
*氣缸控制
*稱重秤
*氣缸加熱裝置

特氣柜是一種用于供應和管理特種氣體的設備，主要用于半導體、LED等新興產業的生產過程中。這些特種氣體包括易燃、易爆、劇毒等具有一定危險性的氣體，（SiH4）等。

在CVD（化學氣相沉積）等生產過程中，特氣柜發揮著至關重要的作用。它能夠滿足生產過程中對氣體原材料的高純度和連續穩定供給的要求，確保生產正常進行和員工人身安全。特氣柜內部PLC程式設計的安全聯鎖功能、高純閥件的合理選擇和布局，使得氣體在傳送過程中經過多次自動吹掃，避免被氣體雜質污染，保證氣體原材料的純度。

此外，特氣柜還具有報警偵測警報功能，在緊急情況下會自動安全切斷，保障生產安全和人員安全。全自動特氣柜的柜體板材厚度不低于2.5mm，有防腐蝕涂層，柜門關閉時，氣瓶柜內部處于負壓狀態，柜內的排風換氣的頻率不低于300次/H，從而確保特氣柜在各種環境下都能穩定運行。